SEMI標準氣體質量流量控制器描述
MCE 系列性能（大多數產品）
可用滿量程范圍： 0.5 SCCM 至 20 SLPM
穩態控制范圍：滿量程的 0.01% – 100%
標準精度校準，NIST 可溯源：讀數的 ±0.6% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準
可選的高精度校準，NIST 可溯源：讀數的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準
重復性： ±（讀數的 0.1% + 滿量程的 0.02%）
典型控制響應時間：最快 30 ms
預熱時間： <1 s
MCE 系列工作條件
兼容氣體： 98 多種預加載的可選氣體校準
工作溫度： –10°C 至 +60°C
滿量程工作壓力： 160 PSIA
最大壓差： 75 PSID
耐壓： 175 PSIA
用戶可選擇的參考條件（默認）： 25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)
設備范圍和完整規格
器件的定制范圍從 0.5 SCCM 滿量程 到20 SLPM 滿量程，可控范圍為滿量程的0.01% 到 100%。
有關從0.5 SCCM 滿量程到5 SCCM 滿量程的設備規格，請參閱 MCE 系列低流量設備規格。
有關從10 SCCM 滿量程到20 SLPM 滿量程的設備規格，請參閱MCE 系列中流量設備規格。
每個設備都包含
多變量過程測量：同時測量質量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度。
用戶可更改的測量單位：從我們廣泛的工程單位列表中更改壓力、流量或溫度的測量單位。
氣體可選性： 從我們氣體列表中的 98 多種預加載 NIST 可溯源氣體校準中選擇您的工藝氣體 。
Gas Select COMPOSER™： 使用我們的Gas Select Composer ™ 固件定義多達 5 種成分氣體的 20 種自定義氣體混合物。
帶集成觸摸板的單色背光 LCD： 使用背光顯示屏和控制配置以及用戶友好的集成觸摸板輕松讀取測量值。
用戶可調節的設定點斜坡和限制：可配置的斜坡率允許根據需要控制過程變量的快或慢，可配置的設定點限制可保護過程免受無意的設定點更改。
用戶可調節標準溫度和壓力 (STP) 條件： 快速 更改參考條件 ，無需重新校準。
閥門關閉覆蓋和閥門打開覆蓋：利用警報快速排放系統或根據需要停止所有流量。
SEMI標準氣體質量流量控制器配件
工藝端口接頭和過濾器
電源
通信電纜和轉換電纜
BB3 和 BB9 多點分線盒
